英國愛德華渦輪分子真空泵STP-L301C ISO100 入口
概述
Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C
STP-L301(C) 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認可。英國愛德華真空分子渦輪泵STP-L301C
應(yīng)用
- 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源，射束線泵送端點站
- MBE
- 擴散
- 光致抗蝕劑脫模
- 晶體/晶膜生長
- 晶片檢查
- 負載鎖真空腔
- 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
- 高能物理：射束線、加速器
- 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)
大的制程靈活性
無油
低振動
高度可靠
免維護
良好的控制器設(shè)計
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機驅(qū)動
無電池運行
緊湊型設(shè)計
占地面積小
半機架控制器
低振動
- 內(nèi)置振動隔離系統(tǒng)提供了優(yōu)于 STP301C 和外部隔離器的性能。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | ISO100，CF100 |
| 出口 | KF25 |
| 吹掃口 | KF10 |
| 抽速 | |
| N2 | 260 ls-1 |
| H2 | 290 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| He | 5 x 105 |
| H2 | 2 x 104 |
| 加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭） | 6.5 x 10-6 Pa |
| (5 x 10-8 Torr) | |
| 加熱時的極限壓力（ICF 法蘭） | 10-8 Pa |
| (10-10 Torr) | |
| 大允許進氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻） | 6.7 x 10-2 Pa |
| (5 x 10-4 Torr) | |
| 大連續(xù)出口壓力（環(huán)境空氣冷卻） | 13 Pa |
| (0.1 Torr) | |
| 額定速度 | 48000 rpm |
| 啟動時間 | 3 min |
| 高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
| 200 至 240 (± 10) V 交流 | |
| 啟動時的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 13 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |
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南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C
烏魯木齊石家莊天津長春吉林濟南英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C
青島威海德州連云港昆明九江安慶英國愛德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C
一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
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