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萊寶真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX?

350i/iX 450i/iX T350i/iX T450i/iX TURBOVAC i/iX分子泵

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級泵組合后，可以實(shí)現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。萊寶真空是世界上渦輪分子泵領(lǐng)導(dǎo)品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應(yīng)用于許多場合。工作原理渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運(yùn)動變成有定向運(yùn)動。
萊寶真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX?

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級泵組合后，可以實(shí)現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵領(lǐng)導(dǎo)品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應(yīng)用于許多場合。

工作原理

渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運(yùn)動變成有定向運(yùn)動。

渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進(jìn)氣口法蘭定向運(yùn)動到前級真空口。

在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強(qiáng)時(shí)，氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點(diǎn)幾毫米)，分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞，所以

抽氣過程非常高效。

在粘滯流范圍，也就是壓強(qiáng)超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則*不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉(zhuǎn)子的效率。因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下工作，需要適當(dāng)抽速的前級真空泵。

為了使氣體分子產(chǎn)生定向運(yùn)動，轉(zhuǎn)子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉(zhuǎn)子也要有相應(yīng)的高轉(zhuǎn)速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉(zhuǎn)子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉(zhuǎn)速大約為36000rpm，而較小直徑轉(zhuǎn)子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉(zhuǎn)速為72000rpm。

分子泵設(shè)計(jì)理念

萊寶真空針對不同應(yīng)用提供基于不同軸承和轉(zhuǎn)子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機(jī)械軸承標(biāo)準(zhǔn)分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承，高真空端配置免維護(hù)的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上*避免分子泵對腔體產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴静⑶冶ＷC所有分子泵均可以任意角度安裝。

萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖

TURBOVAC i/iX系列

TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設(shè)計(jì)理念研發(fā)的全新一代分子泵。該系列產(chǎn)品為客戶提供真空的性能和較高的系統(tǒng)集成度。

TURBOVAC i/iX系列分子泵創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)*地克服了分子泵軸承設(shè)計(jì)的瓶頸，同時(shí)滿足了軸承無油和現(xiàn)場更換這兩大設(shè)計(jì)難點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了*一代的技術(shù)水平。

TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業(yè)應(yīng)用

TURBOVAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：

- 無油，可以實(shí)現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件

- 運(yùn)行高度可靠

- 耐輻射

- 設(shè)計(jì)緊湊

TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：

- *款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設(shè)計(jì)

- 抽速大，壓比高

- 免維護(hù)

- 清潔無油

陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。

陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。

裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。

TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：

- *款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設(shè)計(jì)

- 抽速大，壓比高

- 免維護(hù)

- 清潔無油

陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC

泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。

技術(shù)特點(diǎn)

TURBOVAC i

- 集成變頻器，24/48V DC 電源供電

- 切削成型轉(zhuǎn)子和全新復(fù)合級設(shè)計(jì)使分

　子泵具有超佳性能和較大抽速，對輕

　質(zhì)氣體尤為突出

- 任意方向安裝

- *的可靠性源于創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)理

　念

- 設(shè)計(jì)靈活，適應(yīng)性強(qiáng)

- 市場上一款無油半磁浮分子泵

- 現(xiàn)場維護(hù)（更換軸承），維修成本低，

　時(shí)間短

- 通訊接口齊全（標(biāo)配USB，RS485和

　15針數(shù)字I/O）

TURBOVAC iX

- 集成真空系統(tǒng)控制器配置靈活的通訊

　接口和附件控制接口（用于控制冷卻

　單元，閥門，規(guī)管和前級泵等）

- 附件齊全，即插即用

- 適應(yīng)性強(qiáng)，適合各類真空工藝

TURBOVAC T i, T iX

- 標(biāo)準(zhǔn)分子泵（不含復(fù)合級）

- 帶氣載能力強(qiáng)

- 耐粉塵

- 啟動時(shí)間短

典型應(yīng)用

- 分析儀器/科研

　- 質(zhì)譜儀

　- 電子顯微鏡

　- 表面分析儀

　- 加速器和同步加速器

　- X射線分析儀

　- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜系統(tǒng)

　- MBE

　- 超高真空系統(tǒng)

- 生命科學(xué)

　- 放射醫(yī)療

　- 伽馬射線滅菌

　- 高品質(zhì)植入物生產(chǎn)

- 工業(yè)和鍍膜應(yīng)用

　- PVD鍍膜設(shè)備

　- 光學(xué)鍍膜設(shè)備

　- CD/DVD/藍(lán)光光碟生產(chǎn)

　- 薄膜太陽能

　- 進(jìn)樣室/轉(zhuǎn)移室/傳輸室

　- 電子束焊機(jī)

　- 檢漏/真空絕熱